特点：
1、斐索型系统保证精密测量
2、创XIN算法提供在振动环境中也能进行可靠的测量
3、图像界面，易于生产线上操作
4、工业级Metropro③软件
规格参数：
| 测量功能： | 精密测量各种反射面和光学系统的表面面形、 精密测量光学系统的传输波前 |
| 测量技术： | QPSI快速机械相移模式和传统的机械相移干涉模式（PSI） |
| 校准系统： | 快速条纹采样系统(QFAS) (双光点定位于十字线) |
| 测量光束直径： | 4″（102mm）或6″（152mm） |
| 对准视场范围FOV： | 4″：±3°；6″：±2°； |
| 光学中心线： | 4.25″（108mm） |
| 激光光源： | 大功率稳频氦-氖激光，IIIa级 |
| 波长： | 633 nm |
| 频率稳定度： | < 0.0001 nm |
| 相干长度： | ＞100m |
| 成像分辨率： | 1024 x 1024像素 |
| 帧速： | 100Hz（PSI） |
| 数据采集时间： | 130-300ms |
| 数据模式： | 8位 |
| 放大： | 电控1-5X |
| 偏振： | 接近圆偏振（1.2：1或者更好） |
| 光曈调焦范围： | 4″：±2.5m；6″：±5.5m； |
| 计算机和软件： | 高性能DELL PC，Windows7，64位， ZYGO专利软件 MetroproTM 9和MetroproTM X（2） |
| 安装构造： | 水平卧式或垂直立式 |
| 附件 | 详细参考ZYGO激光干涉仪附件向导文件，OMP-0463 |
| 尺寸(长x宽x高) | 4″：69 x 31 x 34 cm (27.3 x 12.1 x 13.4 in.)； 6″：92 x 31 x 34cm （36.4 x 12.1 x 13.4 in.） |
| 重量 | 4″:≤85lb（38Kg）；6″:≤100lb（45Kg） |
| 电源 | 100-240VAC，50/60Hz |
工作环境
| 温度： | 15°C - 30°C (59°F - 86°F) |
| 温度变化率： | ＜1.0°C/15min |
| 湿度： | 相对湿度5% - 95% , 无凝结 |
| 隔振： | QPSI模式可以在振幅不超过150nm的震动环境下进行测量； 机械移相测量模式推荐使用被动隔振系统。 |
性能参数
| RMS重复性（3）： | < 0.06 nm, λ/10,000 (2σ) |
| RMS波前重复性（4）： | < 0.35 nm,λ/1800 (mean + 2σ) |
| 像素峰值偏差(5)： | < 0.5 nm, λ/1200 (99.5th %) |
两种模式下测试有振动的腔
PSI模式 13位计算法 QPSI模式 5ms快门速度
注：
1、给出的环境参数是指可以操作使用的环境，不代表仪器要达到最好性能所需要的环境要求。
2、仅在MetroProX软件中有QPSI测量模式。
3、简单RMS重复性定义为对一个4英寸平面短腔，做36次连续测量
（每次16次相位平均），所测得的RMS的标准差的2倍。
4、波前RMS重复性定义为，把测得的均方根差的平均值加上标准差的2倍作为波前RMS重复性。
其中标准差定义为把奇数次测量的均值作为参考值，而把偶数次测量值相对于此均值求得
标准差；计算基于36次连续测量（每次16次相位平均）。
5、像素峰值偏差:定义为对于36次连续测量（每次16次相位平均），取图像峰值标准差的 99.5%；
这个结果测量系统随时间变化的行为（或者A类不确定性）。
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