产品特点：
1、采用FPD和微焦点X射线管的组合，透视图像更清晰。
2、最大可达60º的倾斜观察。
3、大样品出入口和大载物台提高生产效率。
4、测量简单，一键操作即可获得测量结果。
5、功能多样化，为操作者提供足够支持。
规格参数：
| 型号： | SMX-1000 Plus | SMX-1000L Plus |
| P/N： | S362-83200-96 | S362-83300-96 |
| 空间分辨率： | 5μm（JIMA标样） | 5μm（JIMA标样） |
| 可搭载尺寸： | 350X400mm | 570X670mm |
| 实际检查尺寸： | 300X350mm | 520X620mm |
| 可搭载样品质量： | 最大5kg | 最大5kg |
| 接收部倾斜： | 最大60º | 最大60º |
| 接最大输出电压： | 90kv（10W） | 90kv（10W） |
| 检测器： | 平板检出器 | 平板检出器 |
| 检查视野： | 约1.7~35mm | 约1.7~35mm |
| 放大倍数： | 约8~161倍 | 约8~161倍 |
| 功率： | AC100V 1kVA | AC100V 1kVA |
| 外形尺寸： | 995（W）X990（D）X1,285（H）mm | 1,490（W）X1,525（D）X1,325（H）mm |
| 重量： | 约500kg | 约950kg |
FPD（平板检测器）图像更清晰：
最大可达60º的倾斜观察：
步进功能：
步进功能，是指让载物台等距离并顺次移动，进行检查的功能，在检查托盘形状的样品时
高效实用。操作人员只要肉眼看着顺序切换的图像画面进行判断即可。
图像条件的预设功能：
只要从工件种类一览中选择相应种类，即可调出适合观察部位（材质）
图像条件的预设值作为设定条件。
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