应用：
1、作为传感器嵌入到设备装置中
2、洁净室的清洁度管理
3、高清洁度区域的管理
特点：
1、0.1 um测量
2、4.3英寸彩色液晶
3、标配RS-485,Ethernet,USB
规格参数：
| 粒子测量： | 测试方法 | 光散射法 |
| 粒径通道 | 2粒径（0.1、0.3μm） | |
| 额定流量 | 0.1CFM（2.83L/分）、精度±5%、（符合JIS B9921和ISO21501-4) | |
| 测量时间 | 6秒~99分59秒（1次测量时间） | |
| 间隔时间 | 6秒~99分59秒（测量周期） | |
| 采样次数 | 1~999次 或 连续测试 | |
| 地点设定 | 99个地点 | |
| 测量方式 | 重复、单次、连续、计算 | |
| 测量数据显示时间 | 1~10秒 | |
| 测量数据显示 | 累计值∑ 差分值△及柱形图 | |
| 最大可测浓度 | 10,000,000个/m³ | |
| 计数效率 | 50±20%（相对于最小可测粒径附近的PSL粒子） 100±10%（相对于最小可测粒径的1.5倍~2倍的PSL粒子） （符合JIS B9921 和 ISO21501-4） | |
| 伪计数 | <1个/35min | |
| 粒径分辨率 | 15%以下（相对0.3μm的PSL粒子） （符合JIS B9921 和 ISO21501-4） | |
| 气源 | 内置泵 | |
| 显示器： | 4.3英寸彩色液晶 触摸屏 | |
| 通迅功能： | 本 体 | USB（Host用于打印机、USB存储；Device用于与PC链接） Ethernet、RS485（9600、19200、38400 baud） |
| 数据存储： | 媒体 | 内存 |
| 数量、格式 | 最大10,000个、CSV格式 | |
| 显示语言： | 英文、日语 | |
| 电源： | AC100~240V | |
| 使用环境： | 本体 | 15~35℃、0~85%RH （无结露） |
| 外形尺寸： | W150 X H163 X D228 mm | |
| 重量： | 3.4kg | |
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