规格参数：
| 项目 | 规格 |
| 型号 | SRS-1CS |
| 对象基板尺寸 | 大小：70W×70Lmm以下，高：保持面上下共 10mm以下 |
| 装置尺寸 | 加热炉：320（W）×285（D）×310（H）（mm） 制御部：290（W）×235（D）×270（H）（mm） |
| 加热方式 | 上面：热风，下面：远红外线辐射 |
| 冷却方式 | 导入外部气体（氮气或空气） 附带冷却用流量调整阀门 |
| 电源 | 3相 200V 50/60Hz 3kVA |
| 外部气体 | 0.3～0.5MPa 100升/min(MAX) |
| 炉内氧浓度 （氮气使用时） | 最低100ppm(炉内密闭构造) |
| 基板托盘 | 平板 |
| 上面加热 | 热风式：约2.8kW（约350W×8系列） ※可对基准喷嘴进行偏差设定 |
| 下面加热 | 远红外线加热器：约360W |
| 温度精度 | 5℃以内（最大基板中央50W×50Lmm范围内） |
| 测定温度 | 常温～330℃ |
| 测定点数 | 3点 |
| 氮气供给机能 | 流量调整阀门 25ℓ/min |
| 控制用专用软件 | SRS-1CS OS：Windows、XP |
| 装置重量 | 加热炉：约12kg 控制部：约8kg |
 |  |
| 摄像观察系统(VDM-2) | 上面观察 |
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